Valor desideratus humiditatis relativae in camera pura semiconductorum (FAB)

Valor scopus humiditatis relativae in conclavi puro semiconductorum (FAB) est circiter 30 ad 50%, permittens angustum erroris marginem ±1%, ut in zona lithographiae – vel etiam minus in zona processus ultraviolacei remoti (DUV) – dum alibi ad ±5% relaxari potest.
Quia humiditas relativa seriem factorum habet quae perfunctionem generalem camerarum mundarum minuere possunt, inter quas:
1. Incrementum bacteriale;
2. Temperatura cubiculi commoditatis pro ministris;
3. Onus electrostaticum apparet;
4. Corrosio metallorum;
5. Condensatio vaporis aquae;
6. Degradatio lithographiae;
7. Absorptio aquae.

Bacteria aliaque sordes biologicae (mucores, virus, fungi, acari) in ambitu cum humiditate relativa plus quam 60% vigere possunt. Nonnullae communitates bacteriales in humiditate relativa plus quam 30% crescere possunt. Societas credit humiditatem intra 40% ad 60% regi debere, quod impulsum bacteriorum et infectionum respiratoriarum minuere potest.

Humiditas relativa inter 40% et 60% etiam moderata est ad commoditatem humanam. Nimia humiditas homines aëre obstructo sentire potest, dum humiditas infra 30% homines cutem siccam et fissam, respirationem molestam et infelicitatem animi sentire potest.

Alta humiditas re vera accumulationem oneris electrostatici in superficie conclavis purgati minuit – quod est effectus optatus. Humiditas humilis aptissima est accumulationi oneris et fons potentialiter noxius exonerationis electrostaticae. Cum humiditas relativa 50% excedit, onera electrostatica celeriter dissipari incipiunt, sed cum humiditas relativa minor quam 30% est, diu in insulatore vel superficie non coniuncta persistere possunt.

Humiditas relativa inter 35% et 40% ut compromissum satisfactorium adhiberi potest, et conclavia munda semiconductorum plerumque moderamina addita utuntur ad accumulationem oneris electrostatici limitandam.

Celeritas multarum reactionum chemicarum, inter quas processus corrosionis, cum incremento humiditatis relativae augebitur. Omnes superficies aeri expositae circa conclave mundum celeres sunt.