Scopum valorem relativae humiditatis in semiconductor (FAB) cubiculum mundum

Scopum humiditatis relativae valor in semiconductor (FAB) cubiculum mundum est circiter 30 ad L%, marginem angustum erroris ±1% praebens, qualis est in zona lithographia — vel etiam minus in processu ultraviolaceo (DUV) zona – dum alibi ad ± 5% relaxari potest.
Quia humiditas relativa varias habet factores, quae altiore cubiculi mundarum perficiendorum reducere possunt, incluso:
1. Bacteria incrementum;
2. Locus temperatus, consolatio range pro baculo;
3. Electrostatica crimen apparet;
4. Metallum corrosio;
5. Condensatio vaporum;
6. Degradatio lithographiae;
7. effusio aquae.

Bacteria et alii contaminantes biologicos (formas, virus, fungos, minuta) in ambitibus cum humiditate relativa plus quam 60% vigere possunt.Aliquae communitates bacteriales in humiditate relativa plus quam 30% crescere possunt.Societas credit humiditatem moderari in latitudine 40% ad 60%, quod potest minuere ictum bacteria et infectiones respiratoriae.

Relativa humiditas in latitudine 40% ad 60% est etiam moderata pro humano commodo.Nimis humiditas potest sentire stuffy, dum humiditas infra XXX% potest sentire arida, fissa cutis, molestiae respiratorii et infelicitatis motus.

Princeps humiditas redigit ad accumulationem criminum electrostaticorum super superficiem mundialem – optatum exitum.Humilis humiditas est specimen praecepti cumulus et potentia damnosa fons electrostaticae missionis.Cum humiditas relativa 50% excedit, crimen electrostaticum celeriter dissipare incipiunt, sed cum humiditas relativa minus quam 30% est, diu in insulatore vel superficie non fundata perseverare possunt.

Humiditas relativa inter 35% et 40% adhiberi potest ut compromissum satisfactorium, et semiconductor cubicula munda plerumque additis controls utantur ad circumscribendam criminibus electrostaticarum accumulationem.

Celeritas multorum reactionum chemicarum, processuum corrosionum inclusarum, cum incremento humiditatis relativae augebit.Omnes superficies aeri expositae circa cubiculum purum velox sunt.